真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下，利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生高温，通过热辐射传导到工件上。真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结。下面给大家详细介绍一下真空烧结炉的特点、操作技巧以及出现故障的原因和应急处理办法。

一、特点

a.真空烧结炉的真空腔室采用全不锈钢双层水冷设计，表面哑光处理，外形美观。装卸料方式采用炉盖顶部开门，炉体顶部和底部分别留有上下压头接口，密封采用威尔逊密封，密封性好。炉体侧部开有感应电源电极安装孔，观察窗孔等，炉体后部留有真空获得接口，红外观测孔等。上下压头采用威尔逊密封，密封性好。

b.真空烧结炉的感应加热系统由中频感应电源，炉内感应线圈，保温护套及石墨衬套测温红外等组成。感应电源采用IGBT中频感应电源，感应电源肌肤效应好，穿透力强，从而保证工件能快速被加热，电源并具有欠压过流过压等故障报警，保证设备正常运行。

c.真空烧结炉的压力装置由成型压力架，大推力压力油缸，和精密液压站组成。压力的实现有一台精密液压站配合程序仪表及压力传感器组成闭环控制系统来实现精密压力控制，位移测量由测距光栅尺来实现，测量精度高达0.02mm，从而实现压力位移精密控制。

d.真空烧结炉的真空系统由一台直联泵和扩散泵配三台真空阀气动门等组成两级泵系统，真空度高达5.0*10-3帕并安装有压力表、充放气阀等装置。真空的测量有一台真空计来实现，可实时显示炉罐内的真空度。

e.真空烧结炉的电气控制系统采用触摸屏 PLC的控制模式。设备所有的动作由一台欧姆龙PLC来实现和控制，并配有高分辨率的触摸屏，所有的操作在触摸屏上完成，并可实现温度数据，压力数据，位移数据的实时记录、保存，也可在触摸屏上实时数据显示曲线显示，数据可下载可保存。电气元件采用施耐德，西门子品牌，整体设备具有加热快、保温好、控制精密、节能好、使用可靠等优点。

二、操作技巧

a.检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。

b.控制柜安装在相应的地基上，并固定。

c.安照接线图，并参考电气原理图，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保证接线无误。

d.检查电器可动部分应活动自如，无卡死现象。

e.绝缘电阻应不低于2兆欧姆。

f.真空电炉各阀门在关闭位置。

g.控制电源开关放在关位。

h.手动调压旋钮逆时针旋动头。

i.报警钮放在开位。

三、故障和应急处理办法

a.抽气过滤器堵塞：清洗或更换排气过滤器。

b.有漏气处：抽空后关闭真空烧结炉电源，检查电磁阀、管接头、真空泵吸气阀及工作室周边密封垫有无漏气处。

c.噪音大：真空炉联轴器磨损或破裂，更换。

d.排气过滤器堵塞或安装位置不正：清洗或更换排气过滤器并安装正确。

e.处理炉喷油：吸气阀O型圈脱落，拔下泵嘴上的真空管，卸下抽气嘴，取出压簧和吸气阀，轻轻拉伸O型圈几次，重新将其嵌入凹槽内，再安装即可。

f.真空烧结炉的真空泵漏油：回油阀堵塞，卸下回油阀，清洗。

g.油窗松动：放油后，卸下油窗，缠上生料带或薄塑料薄膜。

h.油烟大：抽气过滤器堵塞或污染，清洗或更换排气过滤器。

i.不加热：加热条烧断，更换加热条。

j.加热线烧断：更换加热线，并安装牢固。控制加热温度波段开关接触不良：或更换。控制加热的交流接触器不复位：(用气流吹去异物)或更换。

k.加热不停止：加热时间继电器接触不良或烧坏，调整时间继电器与插座接触或更换。

l.封口不平、不紧或不封口：钢盒变形，调整钢盒加热时间与加热温度未调好，调整至合适。

m.电机反转时间过长：任意两相电源线调换安装(地线除外)。